1）采用工控機(jī) PLC 條碼槍控制，方便信息的讀取、記錄，可與工廠MES系統(tǒng)相連接 2）適用于多種規(guī)格硅片、晶圓片的腐蝕清洗，同一臺(tái)設(shè)備可編程多套運(yùn)行軟件 3）根據(jù)工藝需求，槽體可匹配超（兆）聲、抖動(dòng)、旋轉(zhuǎn)、循環(huán)過(guò)濾等功能 4）全自動(dòng)控制，可選擇自動(dòng)配補(bǔ)液，保證了操作的安全穩(wěn)定性 5）高速移栽機(jī)械手，伺服驅(qū)動(dòng)控制，保證運(yùn)行平穩(wěn)，定位可靠 6）采用國(guó)際品牌的電氣元件