應(yīng)用 AST聚昌科技PEVA系列高階*密電子束蒸鍍系統(tǒng)乃是針對(duì)Power IC ( Ti /Ni/Ag )、LED (Cr/Pt/Au ) 及MEMS等之金屬電極、透明導(dǎo)電膜(ITO)與光學(xué)膜( SiO2/TiO2)所設(shè)計(jì)的批式量產(chǎn)設(shè)備，擁有獨(dú)特的蒸鍍反應(yīng)室設(shè)計(jì)，可以提供更高的產(chǎn)能，與更為精準(zhǔn)、更可靠的製程需求。   特點(diǎn) AST聚昌科技Peva-900E/I系統(tǒng)的特點(diǎn)包括 (1) *佳化鍍鍋與坩鍋設(shè)計(jì)因應(yīng) Lift-Off 與低溫製程需求 (2) Run to Run膜厚均勻性可控制至＜±3%，以確保整體產(chǎn)品良率 (3) *佳化蒸鍍腔及排氣系統(tǒng)設(shè)計(jì)，可有效降低Cycle time，並提昇材料利用率（提高20%） (4) 高通用與拆換便利性設(shè)計(jì)(可提昇至200mm大尺寸、次微米、Lift-Off 製程能力)，製程應(yīng)用不受限 (5) 特殊設(shè)計(jì)的夾治具，針對(duì)薄片製程（<100微米），可靠度極佳 (6) *精簡(jiǎn)地板空間，可有效提高無(wú)塵室使用空間 (7) 全自動(dòng)化、智慧型PC操控系統(tǒng)，提高全廠自動(dòng)化之需求。   沉積室泵送系統(tǒng)和真空測(cè)量： 1臺(tái)CTI Torr-400，低溫泵（水為16000升/秒），16“ID ASA翻邊。 1臺(tái)CTI 9600，液氦低溫水冷壓縮機(jī)（10He管線） 低溫泵自動(dòng)*生功能。 1 AST，高真空閥3位，帶可調(diào)節(jié)流閥位置（3個(gè)位置），ASA 16“-（19”x 15“）法蘭，氣動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)打開(kāi)/關(guān)閉。 1臺(tái)Leybold WA251和D60C，1臺(tái)羅茨泵和1臺(tái)兩級(jí)旋轉(zhuǎn)葉片泵（5000升/分鐘），ISO 63進(jìn)口法蘭。 1個(gè)粗加工閥，ISO 63，波紋管密封，通過(guò)氣動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)打開(kāi)/關(guān)閉。 1個(gè)通風(fēng)閥，KF 25，波紋管密封隔離。 1個(gè)防湍流閥，直徑1/4“，用于延遲通風(fēng)。 1個(gè)前線閥，KF 40，波紋管密封，通過(guò)氣動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)打開(kāi)/關(guān)閉。 壓縮空氣分配。 1 GP 307，真空計(jì)控制器。（atm~5.0E-10托） 1 GP 274，離子測(cè)量頭（1.0E-02托~ 1.0E-09托）。 2個(gè)GP 275，帶鎢絲的Pirani頭。（atm~5.0E-04托）   基板臺(tái)配件： 基板載體旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器 1個(gè)適配器法蘭，ASA 10“直徑至5”直徑孔，用于PevaAST系統(tǒng)。 1個(gè)法蘭，ASA 3“直徑，用于連接層厚測(cè)量系統(tǒng)。 1個(gè)間接驅(qū)動(dòng)齒輪馬達(dá)通過(guò)高性能的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)鐵流體饋通。 單基板載體轉(zhuǎn)速05~20rpm。   基底載體 1個(gè)帶形狀的升降式穹頂 預(yù)加工，可接受總共140件2“晶圓   工藝源配件 Telemark，電子束蒸發(fā)器，10 kW 270型 偏轉(zhuǎn)270o的光源。 角齒輪傳動(dòng)基板通過(guò)坩堝指數(shù)。 水冷饋通。 X和Y掃描信號(hào)饋通。 旋轉(zhuǎn)坩堝，帶6個(gè)40毫升的凹槽。 坩堝控制裝置。 驅(qū)動(dòng)電機(jī)。 遠(yuǎn)程控制： 高壓電源裝置10 kW，帶可變高壓和光束定位控制。   快門(mén)驅(qū)動(dòng)： 氣動(dòng)百葉窗驅(qū)動(dòng)器90o（安裝在氣缸上的空氣流量控制）   過(guò)程控制器/層厚測(cè)量： Maxtek MDC-360C，層厚、速率和工藝   控制單元： 帶有RS-232接口的過(guò)程控制。 9組材料參數(shù)的存儲(chǔ)空間，以及99個(gè)工藝序列和999個(gè)工藝步驟。 從材料和工藝參數(shù)開(kāi)始的100個(gè)順序步驟的順序程序。 一個(gè)過(guò)程*多可重復(fù)99次。 帶6MHz振蕩器的石英傳感器。 帶冷卻水管和信號(hào)電纜。